半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)要求涵蓋環(huán)境控制、設(shè)備系統(tǒng)、材料結(jié)構(gòu)及管理規(guī)范等多個(gè)方面，博泰小編帶大家了解相關(guān)知識(shí)。

一、空間布局與分區(qū)

1、?氣流設(shè)計(jì)?采用層流模式，空氣從潔凈區(qū)向低潔凈區(qū)單向流動(dòng)，避免污染擴(kuò)散。

2、?功能分區(qū)?劃分為潔凈區(qū)、非潔凈區(qū)及輔助區(qū)，實(shí)現(xiàn)人流/物流分離。設(shè)備間大于等于1.5米，避免交叉污染。

二、設(shè)備與材料要求

1、?凈化系統(tǒng)?

配置高效過(guò)濾器， 空調(diào)系統(tǒng)需滿(mǎn)足溫濕度與潔凈度雙重控制需求。

2、?特種系統(tǒng)?

超純水、超純氣體及防泄漏管道系統(tǒng)，廢氣處理系統(tǒng)與應(yīng)急設(shè)施。

3、?材料選擇?墻面/頂板采用50mm厚夾芯彩鋼板等防塵材料，地面需耐腐蝕、